下载多晶硅用耐腐蚀金属烘干槽外槽的技术资料

文档序号:27901052

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本实用新型的多晶硅用耐腐蚀金属烘干槽外槽,包括壳体、内槽、外槽及顶盖,壳体的内部设有烘干腔,内槽及外槽安装于烘干腔的内部,内槽安装于外槽的内部,挡块安装与壳体的内部,外槽的周围与壳体之间设有轴承,轴承的内环与外槽的圆周面的顶端连接,轴承的外...
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