下载反应室升温方法及其升温装置的技术资料

文档序号:2789887

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本发明涉及一种反应室升温方法,包含:加热反应室内的空气;以及充入干空气至反应室内,用以与热空气混合并将含有水分的空气排出。同时亦揭露一种升温装置,可在较短的时间内将反应室内的温度提高且达到等温的环境,进而具有降低成本的优点。...
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