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一种加热与射频放电等离子体激活大体积吸气剂并增强吸附速率的装置，包括真空腔室、抽真空系统组件、供气系统组件、电加热系统、射频供电系统及气压采集系统组件。当真空腔室通过球阀及机械泵等抽真空系统组件获取真空并由供气气源及质量流量计等供气系统组件...
该专利属于中国科学院大连化学物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院大连化学物理研究所授权不得商用。

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