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一种工件传输定位系统及方法，该工件传输定位系统包括：标定环、第一图像采集装置和控制器，标定环用于标定机械手片叉与预对准机构及工件台沿X/Y向的交接工位，第一图像采集装置用于在机械手片叉携带工件在预对准机构上方、片槽中及工件台上方沿Z向运动的...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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