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本发明提供一种处理设备，其简单构造并且能够高效地进行工件处理，本发明提出，处理设备包括用于容纳待处理的工件的处理区域和用于对待处理的工件执行一个或多个动作的一个或多个动作装置。其中所述处理设备可选地包括至少一个访问区域，至少在所述一个或多个...
该专利属于杜尔系统股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过杜尔系统股份公司授权不得商用。

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