下载光强度调制元件、强度调制光发生器、激光曝光装置的技术资料

文档序号:2784209

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本发明的目的在于提供一种小型而能够进行光强度调制的,且变换为第2高次谐波的效率较高的光强度调制元件。非线性光学晶体所制成的基板的主面形成有向某一方向的光导波路,该光导波路中,形成有在上述光导波路方向上极性周期交互反转地形成有在上述基板的厚度...
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