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设计为从具有流量控制装置的气体供给设备正确且迅速地以规定的流量比Ｑ↓［１］／Ｑ↓［２］向容器内分流供给规定流量Ｑ的处理气体。因此，在本发明中，在用于从具有流量控制装置（ＱＣＳ）的气体供给设备（１）向容器供给规定流量Ｑ的气体（Ｇ）的多条分支管...
该专利属于株式会社富士金;东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社富士金;东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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