下载底电极红外探测器结构的技术资料

文档序号:27834527

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本发明提供一种底电极红外探测器结构,包括:设于介质结构内的底电极结构,所述底电极结构包括金属互连层和位于所述金属互连层上的金属通孔;设于所述介质结构表面的反射层;设于所述反射层上微桥结构,所述微桥结构包括微桥桥面及支撑结构,所述微桥桥面包括...
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