下载一种用于气相合成纳米材料的供料系统的技术资料

文档序号:27832766

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本发明属于纳米材料生产领域,并具体公开了一种用于气相合成纳米材料的供料系统。该系统包括两组以上的前驱体供料装置,各个前驱体供料装置的结构相同,均包括载气单元、前驱体单元和混合单元,其中:前驱体单元伸入混合单元,用于向混合单元提供液态前驱体;...
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