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基于ZnO/Al荷壳纳米线的等离激元激光器及其制备方法技术
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下载基于ZnO/Al荷壳纳米线的等离激元激光器及其制备方法的技术资料
文档序号:27832082
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本发明公开了一种基于ZnO/Al荷壳纳米线的等离激元激光器及其制备方法,等离激元激光器包括单根ZnO纳米线、Al壳层膜;制备方法包括如下步骤:在Si衬底上用气相沉积法生长ZnO纳米线阵列;用射频磁控溅射法在ZnO纳米线阵列上溅射Al壳层膜;...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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