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本发明公开了柔性压力传感器、制备方法及传感系统、柔性电子皮肤，包括相对平行设置的第一电极层、第二电极层；设置在所述第一电极层内侧的具有阵列式的第一尖端结构的第一介质层，所述第二电极层内侧设置有具有阵列式的第二尖端结构的第二介质层,柔性压力触...
该专利属于合肥艾创微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥艾创微电子科技有限公司授权不得商用。

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