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一种原子层沉积装置制造方法及图纸
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下载一种原子层沉积装置的技术资料
文档序号:27831789
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本实用新型提供一种原子层沉积装置,用于粉末包覆,包括粉末容器、分散杆和电源,所述粉末容器用于容纳粉末,所述分散杆设置在所述粉末容器内,所述电源的两个电极分别与所述分散杆和所述粉末容器电连接,所述分散杆至少部分位于所述粉末容器内且所述分散杆的...
该专利属于深圳柔电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳柔电技术有限公司授权不得商用。
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