下载一种原子层沉积装置的技术资料

文档序号:27831789

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本实用新型提供一种原子层沉积装置,用于粉末包覆,包括粉末容器、分散杆和电源,所述粉末容器用于容纳粉末,所述分散杆设置在所述粉末容器内,所述电源的两个电极分别与所述分散杆和所述粉末容器电连接,所述分散杆至少部分位于所述粉末容器内且所述分散杆的...
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