下载消除有害空间旋片式真空泵的技术资料

文档序号:27817270

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本发明为消除有害空间旋片式真空泵,适用于真空泵领域。为了解决旋片式真空泵中存在有害空间的问题,本发明通过在有害空间处的泵腔内壁上设置凸起以从源头减小有害空间体积,或者设置支路气道从而将有害空间中的剩余气体排出,从而解决上述问题。本发明可提高...
该专利属于爱德华真空设备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱德华真空设备股份有限公司授权不得商用。

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