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一种晶圆质量分析装置，包括：用于暂存晶圆分析数据、参考数据以及中间结果的数据库；用于调用数据库中的至少两种晶圆分析数据进行相关分析并输出相关分析结果的数据分析单元；用于根据数据分析单元输出的相关分析结果确定并输出关键参数列表，并根据统计过程...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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