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本实用新型提供一种多片立式放置晶圆盒及上盖，包括上盖、片架、底盖，所述上盖的顶面平行于晶圆轴线的两个侧边分别设有若干间距排布的、向晶圆轴线方向水平延伸的悬臂弹片，所述悬臂弹片的自由端设有用于夹持和稳定晶圆上部的支撑槽；所述支撑槽两侧的槽壁向...
该专利属于荣耀电子材料(重庆)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过荣耀电子材料(重庆)有限公司授权不得商用。

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