下载一种激光裂片装置的技术资料

文档序号:27778824

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本实用新型公开了一种激光裂片装置。该激光裂片装置包括:激光器和透镜裂片单元,透镜裂片单元位于激光器的出光路径上;透镜裂片单元包括凸起结构,凸起结构位于透镜裂片单元背离工件载台一侧;凸起结构包括凸形曲面,凸形曲面位于凸起结构背离透镜裂片单元;...
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