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非晶态二硫化钼柔性压力传感器及其制备方法技术
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文档序号:27770047
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本发明公开了一种非晶态二硫化钼柔性压力传感器及其制备方法,所述非晶态二硫化钼柔性压力传感器,包括:柔性基底,所述柔性基底上设置有电极和若干非晶态二硫化钼薄膜;所述电极与所述非晶态二硫化钼薄膜接触;其中,所述若干非晶态二硫化钼薄膜构成压力敏感...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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