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本发明公开一种高纯或有毒流体的回收装置，包括内层压力容器，中层压力容器、外层真空容器、内层压力容器的热开关、各容器的管路及阀门等；所述的内层压力容器用于盛放高纯或者有毒流体介质，中层压力容器与内层压力容器构成的环形密闭空间可以充注液氮或者其...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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