下载一种氦氮混合气体抽空充注回收机的技术资料

文档序号:27769087

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本发明公开了一种氦氮混合气体抽空充注回收机,包括抽空系统、充氮系统、充氦系统、检漏系统、回收系统和电器控制系统,进行高压氮气预检作业进行检大漏,在没有检测到大漏的情况下,对产品进行抽真空,并进行氦气的充注,采用氦质谱检漏仪对产品进行检漏,检...
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