下载一种通过止逆阀控制的压电陶瓷微泵及其使用方法的技术资料

文档序号:27768763

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本发明公开了一种通过止逆阀控制的压电陶瓷微泵及其使用方法,包括壳体,壳体的一端设有凹槽,凹槽内配合安装有压电陶瓷振子致动器,壳体的腔内设有进口阀门与出口阀门,壳体的两侧分别设有进口管路与出口管路,进口管路与进口阀门连通;泵阀的进出口共用一个...
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