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一种锗硅雪崩光电探测器制造技术
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下载一种锗硅雪崩光电探测器的技术资料
文档序号:27748552
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本发明提供了一种锗硅雪崩光电探测器,包括:雪崩放大区;分别与所述雪崩放大区接触的第一欧姆接触层和电荷收集区;与所述电荷收集区连接的控制栅结构;其中,所述控制栅结构用于控制所述电荷收集区的势垒高度。也就是说,该锗硅雪崩光电探测器基于所述控制栅...
该专利属于吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学授权不得商用。
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