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虚拟测量预估模型的适用性选择方法与系统技术方案
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文档序号:2772546
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一种虚拟测量预估模型的适用性选择方法。首先,取得机台的历史工艺数据。分析该历史工艺数据并产生机台维修保养后的数据群落,并且根据该等数据群落建立多个虚拟测量预估模型。将该等虚拟测量预估模型加入一虚拟测量引擎中的一虚拟测量模型管理与选择系统。取...
该专利属于力晶半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过力晶半导体股份有限公司授权不得商用。
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