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本发明公开一种振动网式雾化器及其制作方法。所述制作方法包括：制作网孔模板，其中所述网孔模板具有凸柱阵列；在所述网孔模板上旋涂网孔材料以形成网孔结构层，所述网孔结构层覆盖所述网孔模板的表面和所述凸柱阵列；刻蚀所述网孔结构层直至暴露出所述凸柱阵...
该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。

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