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本发明提供了一种自动检查气相沉积设备反应腔是否漏气的方法。现有技术对气相沉积设备反应腔的漏气检查通常在设备维修后通过人工方式启动一检查反应腔是否漏气的程序进行漏气检查，存在检查间隔过长、间隔不均且受人为因素影响的问题，难以有效的检查出反应腔...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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