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本实用新型公开了一种助熔剂法生长均匀的氮化物单晶的系统。所述系统包括:单晶生长单元、原料循环单元、搅拌单元和氮气供给单元;所述单晶生长单元包括可供反应生长氮化物单晶的反应腔室,所述原料循环单元包括用以容置生长氮化物单晶所需原料的循环腔室,所...该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。
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本实用新型公开了一种助熔剂法生长均匀的氮化物单晶的系统。所述系统包括:单晶生长单元、原料循环单元、搅拌单元和氮气供给单元;所述单晶生长单元包括可供反应生长氮化物单晶的反应腔室,所述原料循环单元包括用以容置生长氮化物单晶所需原料的循环腔室,所...