下载一种光学薄膜成膜直接式光学监控系统的技术资料

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本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其是一种光学薄膜成膜直接式光学监控系统,其特征在于:所述监控系统包括两组或两组以上可分别独立形成监控光路的光源发送器和光源接收器,两路或两路以上所述监控光路均穿透所述镀膜基片且沿所述镀膜基片上的薄膜覆膜延伸...
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