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本发明公开了一种离子束沉积设备的冷却辊，涉及离子束镀膜领域。该方案包括中空的辊体，所述辊体由外至内依次包括表面导电层、绝缘导热层以及冷却腔，所述表面导电层携带负电荷，所述冷却腔内循环通入、排出冷却流体，或者在所述冷却腔内设置固体冷却介质，所...
该专利属于廖斌;广东省广新离子束科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过廖斌;广东省广新离子束科技有限公司授权不得商用。

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