下载一种纳米涂层探针及其制备方法的技术资料

文档序号:27644572

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本发明提供一种纳米涂层探针,包括探针主体、纳米涂层和绝缘涂层,所述纳米涂层包覆于所述探针主体外表面,所述探针主体包括测试部、连接部和固定部,所述绝缘涂层设于所述探针主体连接部对应的纳米涂层上,所述纳米涂层为纳米结构。本发明还提供一种纳米涂层...
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