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一种纳米涂层探针及其制备方法技术
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文档序号:27644572
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本发明提供一种纳米涂层探针,包括探针主体、纳米涂层和绝缘涂层,所述纳米涂层包覆于所述探针主体外表面,所述探针主体包括测试部、连接部和固定部,所述绝缘涂层设于所述探针主体连接部对应的纳米涂层上,所述纳米涂层为纳米结构。本发明还提供一种纳米涂层...
该专利属于珠海拓优电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过珠海拓优电子有限公司授权不得商用。
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