下载包括叉形弹性结构的组件和包括该组件的计时器的技术资料

文档序号:2762975

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在例如硅的脆性材料的板中形成的特别适用于计时器(10)的组件(18),包括被提供用于心轴(26)的轴向插入的孔(32),孔(32)的内壁(33)包括刻蚀于板中的弹性结构(34),并且每一个弹性结构包括用于径向夹紧心轴(26)的至少一个支撑表...
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