下载曝光装置的技术资料

文档序号:2761729

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种曝光装置,包括透光构件和保护盖。透光构件允许向着扫描目标定向的光束穿过其中。保护盖被安装为在关闭位置和打开位置之间可绕枢轴转动。保护盖具有第一构件和第二构件。在关闭位置,第一构件遮蔽透光构件,并且在打开位置不遮蔽透光构件从而允许光束穿过...
该专利属于夏普株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过夏普株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。