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一种太赫兹滤波器,包括滤波器单元,所述的滤波器单元是由从上至下依次的第一金属层、第一介质层、第二金属层、第二介质层和第三金属层叠置在一起构成的复合结构,第一金属层和第三金属层为结构相同的环形,环形的四周中间开有4个缺口,与第一金属层和第三金...该专利属于郑州中科集成电路与信息系统产业创新研究院所有,仅供学习研究参考,未经过郑州中科集成电路与信息系统产业创新研究院授权不得商用。
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一种太赫兹滤波器,包括滤波器单元,所述的滤波器单元是由从上至下依次的第一金属层、第一介质层、第二金属层、第二介质层和第三金属层叠置在一起构成的复合结构,第一金属层和第三金属层为结构相同的环形,环形的四周中间开有4个缺口,与第一金属层和第三金...