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本发明提供一种高灵敏度谐振式差压传感器及其制备方法，包括：传感器本体，包括依次叠设的器件层、绝缘层和基底层，其中，在基底层的中央位置设有第一压力敏感膜，第一压力敏感膜两侧分别设置有引线孔；在器件层上与第一压力敏感膜对应的位置处分别设置有第一...
该专利属于中国科学院空天信息创新研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院空天信息创新研究院授权不得商用。

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