下载具有电感滤波的麦克风装置的技术资料

文档序号:27587440

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麦克风装置以及制造麦克风装置的方法,所述麦克风装置包括:基板,该基板具有第一表面和第二表面;盖,该盖被固定至基板的第一表面以形成封闭的后腔容积;专用集成电路(ASIC),该ASIC嵌入在基板的第一表面与第二表面之间;微机电系统(MEMS)换...
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