下载光学感测器及其形成方法的技术资料

文档序号:27583612

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本发明提供一种光学感测器及其形成方法,该光学感测器包含:衬底、第一阱、第二阱、第三阱、深沟槽隔离结构、以及钝化层。衬底具有第一导电类型且包含感测区。第一阱位于感测区中,其具有第二导电类型以及第一深度。第二阱位于感测区中,其具有第二导电类型以...
该专利属于世界先进积体电路股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过世界先进积体电路股份有限公司授权不得商用。

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