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一种简易高效的植球装置制造方法及图纸
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下载一种简易高效的植球装置的技术资料
文档序号:27532465
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本发明涉及一种简易高效的植球装置,包括真空吸附平台及网板,真空吸附平台有两路独立的真空,分别对待植球芯片及网板进行真空吸附固定;网板通过硅片或玻璃制作,网板上表面通过腐蚀形成腔体,中部通过腐蚀或激光切割形成与待植球芯片对应的通孔。植球时,先...
该专利属于南京国博电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京国博电子有限公司授权不得商用。
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