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本发明涉及照明衬底（４０５）的浸没式光刻方法。当衬底（４０５）被照明时，浸没液被导入成像元件和衬底之间，并且根据所述方法，通过沿着载体（４０９）的移动方向改变照明标线（４０２）与要被照明的衬底（４０５）的表面之间的射束方向上的距离，调整要被...
该专利属于英飞凌科技股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过英飞凌科技股份公司授权不得商用。

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