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本发明公开了一种双台定位交换系统，至少包括基台、设置在基台上并运行于第一工位的承物台定位单元、运行于第二工位的承物台定位单元，每个承物台定位单元至少包括承载装置、Ｘ向导轨、Ｙ向导轨、运动定位检测装置、线性光栅，其中，承载装置包括承物台和承物...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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