温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种用于确定要施加于衬底的力以使衬底变形、并校正覆盖未对齐的方法。...
该专利属于得克萨斯州大学系统董事会所有，仅供学习研究参考，未经过得克萨斯州大学系统董事会授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。