下载对准方法、压印方法、对准设备和位置测量方法的技术资料

文档序号:2751605

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在用于进行两个板状物之间的对准的对准方法中,将配置有第一对准标记的第一板状物和配置有第二对准标记的第二板状物相互相对放置。将第一区域和第二区域布置在通过图像拾取装置所观察的图像拾取区域中相互不重叠的位置处。从基本上与第一和第二板状物的平面内...
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