专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
佳能株式会社
>
对准方法、压印方法、对准设备和位置测量方法技术
>技术资料下载
下载对准方法、压印方法、对准设备和位置测量方法的技术资料
文档序号:2751605
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
在用于进行两个板状物之间的对准的对准方法中,将配置有第一对准标记的第一板状物和配置有第二对准标记的第二板状物相互相对放置。将第一区域和第二区域布置在通过图像拾取装置所观察的图像拾取区域中相互不重叠的位置处。从基本上与第一和第二板状物的平面内...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。