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一种灰化的方法，包括在干法蚀刻之后，灰化去除光刻胶之前，向光刻胶通入含氢气体软化光刻胶。所述灰化方法避免了由于光刻胶变硬而无法在灰化过程中完全去除的情况，从而避免了残留的光刻胶对器件性能产生影响。...
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