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本发明提出一种光刻机投影物镜波像差测量装置及方法。光刻机投影物镜波像差测量装置包括光源、照明系统、第一方向上的第一狭缝标记、第二方向上的第二狭缝标记、硅片、工件台、光学成像系统、波像差传感器系统以及干涉仪。本发明测试时间短、精度高，且利用光...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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