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一种掩模坯件的制造方法及涂布装置，其包括使从收容有液状抗蚀剂（２１）的液槽（２０）通过喷嘴（２２）到达喷嘴前端开口部的抗蚀剂接触在具有用于形成转印图案的薄膜的基板的被涂布面上，通过使基板和喷嘴相对移动，在被涂布面上涂布抗蚀剂来形成抗蚀剂膜的...该专利属于HOYA电子马来西亚有限公司;HOYA株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过HOYA电子马来西亚有限公司;HOYA株式会社授权不得商用。