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一种光掩模铬版激光微修补送粉装置，由粉末腔、平衡腔、气压腔与温度控制器四部分组成；粉末腔与气压腔通过平衡腔贯通连接，粉末腔与温度控制器通过传输线连接构成整体。工作过程为：将粉末腔抽真空后，在粉末腔和气压腔内注入保护气，调节腔压；然后关闭保护...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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