温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种具有极高Q值的氮化铝lamb波谐振器及加工方法，包括：电极、薄膜(2)；所述电极包括：叉指电极(1)、底电极(3)；所述叉指电极(1)的一端接入RF信号；所述叉指电极(1)的另一端与地相连；所述底电极(3)采用电性浮接；所述...
该专利属于浙江信唐智芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江信唐智芯科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。