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本发明公开了一种铟镓锌氧化物薄膜晶体管器件的制备方法，包括：将玻璃基板依次加入清洗液和去离子水中，分别超声清洗，风刀吹干；通过磁控溅射工艺在玻璃基板表面沉积金属薄膜，并进行图案化处理，得到栅电极；通过等离子体增强化学气相沉积法镀膜工艺在栅电...
该专利属于绵阳惠科光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绵阳惠科光电科技有限公司授权不得商用。

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