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一种超高道密度伺服信息极坐标光刻系统及设备，包括主轴回转、磁盘盘片定位夹持、闭环控制直线位置检测、快速与三套滚动导轨联合超高精度定位、光刻聚焦光路及调制、激光器调焦伺服控制、微机及接口控制等系统。本发明能生成磁记录所需要的各种复杂图形。是超...
该专利属于华中理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中理工大学授权不得商用。

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