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一种得到剥脱成像图案的方法，包括下列步聚：（ａ）提供第一层等离子体可腐蚀材料，上述材料的膜厚小于０．５μｍ；（ｂ）提供包括光成像材料的第二层置于第一层上面；（ｃ）在上述第二层上形成一种图形，包括有选择地曝光和使第二层显影；（ｄ）用有机硅材料...
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