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本发明涉及在深紫外线区域敏感的新型光刻胶组合物，其中光刻胶对在光刻胶的处理环境中的碱污染物不敏感。...
该专利属于科莱恩金融(BVI)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科莱恩金融(BVI)有限公司授权不得商用。

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