温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种利用每个步进机射域（４１０）的四个精细对准标记（４２０ａ、４２０ｂ、４３０ａ、４３０ｂ）的晶片对准系统。四个对准标记布置在四个侧边的步进机射域的每个侧边上的划线（４０４）内。步进机射域的相对侧边上的标记位于镜像的位置。这样能够补偿旋转误...
该专利属于皇家菲利浦电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过皇家菲利浦电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。