下载微管道的制作方法的技术资料

文档序号:2749664

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提出一种微管道的制作方法,它涉及微机械的加工技术,特别是对其中的微管道进行制作的方法。本发明是将利用光刻工艺在正性光刻胶上制作的微管道图形采用负性光刻胶交联的办法直接固定和封装。不仅可以适用于多种材料,也可以制作各种复杂的微管道图形,...
该专利属于中国科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学技术大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。